“据我所知,目前米、日、荷等国都已经展开了对极紫外光的研究,特别是米国,集中了几个国家实验室的力量,投入了大量的人力和物力来攻关。”
“他们遇到的难题很多,最棘手的一个问题,就是极紫外光可被包括空气在内的所有东西吸收,无法顺利抵达晶圆表面。”
“这对我们来说是一个好消息,给了我们一个追赶的机会,所以,哪怕再难,极紫外光也必须立项。”
“否则,不久的将来,在微电子方面,西方发达国家将会把我们远远抛到身后!”
“别人的技术先进,就意味着对我们的垄断和封锁,我想,这肯定是大家都不愿意看到的后果吧?”
“那当然!”李院士和徐教授毫不犹豫地点头。
换了任何一个有远见的华国人,应该都有这方面的认识。
一直以来,国外对华国的技术垄断和封锁,都是有目共睹的。
先进的技术和设备,统统不卖给华国。
就算卖一些过时的技术和设备,也是一副高高在上的态度往死里要价。
对于这些,李坚强和徐端逸都是深有感触的。
但他们对极紫外光的研究还是一点把握都没有。
“外国专家都无法突破,咱们一点基础都没有,搞起来恐怕更难啊!”
有这样的担忧也正常。
asml公司用了整整26年,集合了美、德、日、英等发达国家的顶尖科技,才研制出了极紫外euv光刻机。
而华国现在连90纳米的duv光刻机都没有出现,更不要说科技最前沿的极紫外光刻机了。
从理论上来说,华国以一己之力,最起码要用30年时间,才能研制出极紫外光刻机。
但理论并不等于实际。
有了牧乔这个bug,华国在微电子方面,早晚会超越西方发达国家,不再受人掣肘。
“难度肯定有,但也没有你们想象的那么难。”
“综合来看,光源、反射镜和工作台是光刻机的三大部件,咱们先来说说极紫外光源。”
“目前国外普遍研究的是同步辐射光源。”
“这种光源具有高准直、高偏振、高纯净度、高亮度等诸多优点,但它却有一个致命缺陷。”
“电子注入过程复杂,导致它的造价太高,不适合大规模推广应用。”
“所以我觉得我们对极紫外光源的研究,应该是放电等离子体方案。”
“这种办法能够将电能直接转化为等离子体能,与同步辐射源相比,由于可以建立较大功率电源系统,能源转换效率有进一步的提高。”
“此外,由于它的光源结构简单,研制更容易着手,运营成本更低,更适合大规模工业应用……”
牧乔滔滔不绝地说着,从光源说到了反射镜,然后又说起工作台。
牧乔惊喜于自己超强的记忆力,也庆幸自己上一辈子闲得无聊的时候,在网上阅读了不少对他来说完全没有一点用处的学术文献。
但他不知道的是,此时此刻,李坚强和徐端逸更加震惊。
极紫外光刻这个概念,国际上是80年代末期才提出来的,此后,西方发达国家展开了大量的实验研究。
但到现在为止,没有任何一个国家取得突破性的成果。
在国内,有一些从事微电子行业的人,甚至连极紫外光这个概念都搞不大清楚。
但牧乔这个连大学都没读过的年轻人,却将它说得头头是道!
最关键的是,他还给出了研发的方向。
千万别小看了这一点。
科学研究,本身就是在不断的探索中前进。
但这个探索的过程却并非坦途,并非一帆风顺,有的要经过多次失败再总结经验教训后才能成功。
爱迪生发明电灯,试验失败了上万次,才找到了用钨来做灯丝的最佳方案。
可以说,如果没有牧乔指明方向,极紫外光即使立项,也注定要走不少的冤枉路,而且最后还不一定能够成功。
“小牧,你对极紫外光刻的了解,比我这个搞了一辈子光学研究的人还要多,你真的……只是一个技校生?”
徐端逸的情绪有点激动,同时心里再次泛起了一丝疑惑。
“干一行爱一行嘛,自从决定要搞集成电路之后,我就专门对相关技术进行了彻底的了解……当然了,花的钱也不少。”
牧乔早就想好了说辞,此刻徐端逸一问,他便笑眯眯地说了出来。
不过这并没打消徐端逸的疑惑。
“这些尖端科技,你花再多的钱也买不到吧?”
“如果是已经成熟的科研成果,那可能真的买不到,但这只是他们的研究方向和一小部分研究成果,通过一些渠道多花点钱还是能买到的。”
徐端逸锲而不舍地追问道:
“听说你们的vcd技术是从一名米国华侨那儿买来的,这个极紫外光的资料,应该也是从他那儿搞来的吧?”
作为合作方,水木大学这边对华腾也是作过细致了解的,知道他们买了vcd技术并没有毛病。
不过,牧乔没有想到徐端逸竟然自己脑补出了这么一个极紫外光资料的来源。
“这个……”牧乔故作犹豫地摇了摇头,“这个我不能说,我们是签了保密协议的。”
“而且我还想通过这个渠道,以后再搞一些国外的先进技术呢。”
这番作态,反而让徐端逸更加确定了他的想法。
“我懂我懂!”徐端逸连连点头,说完还心照不宣地向牧乔眨了眨眼。sttgxcl.com
“……”牧乔不知道说什么好了。
这时,李院士突然开口说道,“从头开始研发极紫外光刻,就算有小牧同志提供资料,也不是件容易的事情。”
“光刻机是一套极其复杂的光机电系统,除了光源、光学镜组和工件台这些核心设备以外,还有控制器、掩膜台等一大堆的难关要攻克。”
“这些问题,并不是任何一家科研单位和企业能够单独解决的,必须要由国家提头立项,组织国内相关院校和科研单位共同攻关,才有可能完成任务。”
这个道理牧乔当然明白,但他不是没办法嘛。
没有上面下发的红头文件,谁又有那个能耐把那么多不同领域的科研单位组织起来?
说来说去,问题又回到了起点。
如果只是在现在已经掌握的技术基础上进行研发,那水木和华腾合作就没有问题。
但要想弯道超车搞极紫外光刻,没有国家组织专项攻关根本不大可能!
晶晶走到唐三身边,就在他身旁盘膝坐下,向他轻轻的点了点头。
唐三双眼微眯,身体缓缓飘浮而起,在天堂花的花心之上站起身来。他深吸口气,全身的气息随之鼓荡起来。体内的九大血脉经过刚才这段时间的交融,已经彻底处于平衡状态。自身开始飞速的升华。
额头上,黄金三叉戟的光纹重新浮现出来,在这一刻,唐三的气息开始蜕变。他的神识与黄金三叉戟的烙印相互融合,感应着黄金三叉戟的气息,双眸开始变得越发明亮起来。
阵阵犹如梵唱一般的海浪波动声在他身边响起,强烈的光芒开始迅速的升腾,巨大的金色光影映衬在他背后。唐三瞬间目光如电,向空中凝望。
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顿时,”轰”的一声巨响从天堂花上爆发而出,巨大的金色光柱冲天而起,直冲云霄。
不远处的天狐大妖皇只觉得一股惊天意志爆发,整个地狱花园都剧烈的颤抖起来,花朵开始迅速的枯萎,所有的气运,似乎都在朝着那道金色的光柱凝聚而去。
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他脸色大变的同时也是不敢怠慢,摇身一晃,已经现出原形,化为一只身长超过百米的九尾天狐,每一根护卫更是都有着超过三百米的长度,九尾横空,遮天蔽日。散发出大量的气运注入地狱花园之中,稳定着位面。
地狱花园绝不能破碎,否则的话,对于天狐族来说就是毁灭性的灾难。
祖庭,天狐圣山。
原本已经收敛的金光骤然再次强烈起来,不仅如此,天狐圣山本体还散发出白色的光芒,但那白光却像是向内塌陷似的,朝着内部涌入。
一道金色光柱毫无预兆的冲天而起,瞬间冲向高空。
刚刚再次抵挡过一次雷劫的皇者们几乎是下意识的全都散开。而下一瞬,那金色光柱就已经冲入了劫云之中。
漆黑如墨的劫云瞬间被点亮,化为了暗金色的云朵,所有的紫色在这一刻竟是全部烟消云散,取而代之的,是一道道巨大的金色雷霆。那仿佛充斥着整个位面怒火。
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